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產品名稱:南京半導體耐腐蝕耐高溫密封件
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簡單介紹:
全氟醚橡膠能夠在260~290℃的溫度范圍內穩定工作,并且能夠間歇性地承受高達316℃的高溫。
詳情介紹:
全氟醚橡膠在半導體制造中能抵御蝕刻液、清洗液等強腐蝕性化學藥液的侵蝕,主要以O型圈、密封圈等形式應用于半導體制造設備的真空系統和工藝腔體,能夠在高溫和等離子體環境中保持低析出、高潔凈度,避免污染晶圓。
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